研課題
J-GLOBAL ID:200904069195944074  研究課題コード:0650033313 更新日:2006年02月17日

自律移動ロボットのリアルタイム3次元計測用超音波マイクロアレイセンサに関する研究開発

実施期間:2003 - 2005
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (5件):
研究概要:
超音波マイクロアレイセンサの作製プロセス開発を行う。最終的には、再現性、プロセスの安定性が良く、作製歩留まりが高く、受信感度特性に優れ、受信感度特性、共振周波数のバラツキが少なく、製造費用をコストダウンするような作製プロセスの開発を目指している。そのために、理論的な考察と共に、高密度プラズマエッチング装置、フッ系樹脂等の新技術、新材料を用いた多くの試作実験を積み重ね、ノウハウを蓄積して、最適な手法、条件の探索を行う。また超音波マイクロアレイセンサを用いた3次元計測のためのシステム開発を行う。

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