研課題
J-GLOBAL ID:200904070858830530  研究課題コード:0350017331 更新日:2003年11月13日

半導体シリコン単結晶の欠陥形成機構の解明と制御技術開発に関する研究

実施期間:0 - 0
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):

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