研課題
J-GLOBAL ID:200904071345919094  研究課題コード:9800024693 更新日:2006年03月14日

活性粒子による新表層材料創製に関する研究 (1)ホット粒子による極限表面材料創製の研究

Study on production of novel surface materials by active particles (1) Study on production of extreme surface materials by hot particles
実施期間:1986 - 1992
研究概要:
1) 研究目標 高機能表層材料の合成技術を確立するために,活性粒子の発生法,物質の表面・界面での反応プロセス制御法及び表層材料評価法を開発する。 2) 研究計画 (1) 中性高エネルギーレベル粒子発生法,合成プロセス及び材料評価法の研究を通じ,表面材料創製技術を確立するための研究を行う。 (2) 高・中速イオンビームを用いた表面・界面反応のプロセスを解明し,高機能表層電子材料を合成・制御する技術を確立するための研究を行う (3) C-BN膜を得るレーザPVD技術,レーザによる高温熱源と高圧ガス下での膜改質技術及び膜特性評価技術の開発を進める
キーワード (8件):
イオンビーム加工 ,  表面処理 ,  機能材料 ,  イオン照射 ,  表面構造 ,  電気材料 ,  反応機構 ,  プロセス制御
研究制度: 特別研究
研究所管省庁:
経済産業省
研究予算: 1992年度: 0(千円)

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