研課題
J-GLOBAL ID:200904071927859967  研究課題コード:9800030567 更新日:2006年03月15日

EEMによる表面創製技術の研究

Study on surface creating technique by EEM
実施期間:1994 - 1998
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (3件):
研究概要:
各種光学素子の加工精度、表面粗さの向上を図るため、EEM(Elastic Emission Machining)による表面創製技術について、基礎的諸問題の検討を行う。また、超精密表面創製技術をX線光学素子に適用して、この技術の有効性について検討する
キーワード (4件):
化学研磨 ,  光学素子 ,  表面粗さ ,  表面加工
研究制度: 経常研究
研究所管省庁:
経済産業省
研究予算: 1995年度: 2,500(千円)

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