研課題
J-GLOBAL ID:200904071999799730  研究課題コード:0250005782 更新日:2003年12月15日

自動車向け安全センシング技術の研究開発 (分担テーマ:エンジン制御用圧力センサ)

Research and development of safety sensing technique for cars (Subject assigned: Pressure sensor for engine control)
実施期間:2000 - 2002
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (8件):
研究概要:
自動車の安全性確保のためのエンジン制御を目的として,直噴エンジン制御用小型圧力センサの研究開発を行う。具体的には薄膜を利用した高温動作型高圧用圧力センサの開発を行う。圧力センサについてはこれまでに日本リニアックス(株)と共同で常温タイプのダイヤフラム一体型圧力センサを開発してきており,これをベースに高温で動作可能な圧力センサの開発を行う。また自動車用センサとして用いる場合,環境の厳しい状態で利用されるので,センサを保護するパッシベーション技術が必要不可欠な技術になる。センサ表面を保護するパッシベーション膜に関する材料及び作製技術の開発も同時に行う。
キーワード (7件):
圧力センサ ,  自動車用センサ ,  薄膜作製技術 ,  酸化物薄膜 ,  パッシベーション膜 ,  スパッタ ,  プラズマ
研究制度: 経常研究

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