研課題
J-GLOBAL ID:200904076663036870  研究課題コード:9800024771 更新日:1995年11月21日

極高真空の発生・計測・利用技術の開発に関する研究 5.極高真空の利用技術に関する研究 (2)超清浄表面の作製と利用に関する研究

Study on the development of the evolution,measurement and application technology for extreme high vacuum (2)Study on the tailoring and application of ultra cleansurface
実施期間:1991 - 1992
研究概要:
1) 研究目標 既存技術の10-9Paを2桁上回る10-11Paの極高真空を容易に発生・計測する技術を開発し、単原子操作による人工材料等の次世代材料の創製、あるいは超清浄表面における新しい物理・化学現象の探究のための基盤技術を確立することを目標とする。 2) 研究計画 極高真空の利用技術に関する研究 超清浄表面の作製と利用に関する研究
キーワード (3件):
極高真空 ,  利用 ,  清浄面
研究制度: 科学技術振興調整費による総合研究
研究所管省庁:
文部科学省
研究予算: 1992年度: 39,373(千円)

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