研課題
J-GLOBAL ID:200904076846850665  研究課題コード:9911005047 更新日:2003年11月25日

プラズマとイオンを複合した表層改質技術開発と応用化に関する研究

Research and development on the hybrid surface modification technology by a combination of plasma and ion engineering, and its industrial application
実施期間:1999 - 2000
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
これまで確立したプラズマソースイオン注入技術を基本技術とし,高硬度セラミック薄膜の合成,酸化チタン,酸化スズ等の化学機能膜の合成,抵抗体及び誘電体薄膜等電子材料の合成に応用するための技術開発研究を行う。本技術は,原理的に大面積,多数個同時処理が可能である
キーワード (13件):
イオン注入 ,  プラズマ ,  表層改質 ,  薄膜 ,  プラズマソースイオン注入 ,  スパッタ ,  プラズマCVD ,  イオンビームアシスト蒸着 ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  摩擦係数 ,  耐摩耗性 ,  耐食性 ,  生体適合性
研究制度: 特別研究

前のページに戻る