研課題
J-GLOBAL ID:200904080166933636  研究課題コード:9910002513 更新日:2003年12月15日

機能性材料の作成と評価

Production and evaluation of functional material
実施期間:1999 - 2000
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (4件):
研究概要:
今日の科学技術の発展に貢献している大きな柱の1本に材料研究があると言っても過言ではない。本研究プロジェクトでは電子ビーム励起プラズマ及びMOVPE法による製膜やBridgman法などによる単結晶育成を行うことによって機能性材料の開発を試み,さらにはレーザ光やX線による材料の評価を行うことを大きな目的とする。電子ビーム励起プラズマはプラズマ中の電子エネルギー制御性の良さから,プラズマプロセスにたいへん適している。池澤は表面波を用いた大面積電子ビーム励起プラズマにより,最近環境問題で注目されているTiO2膜,光導波路用Nb2O5膜(西脇研究室と協力),太陽電池用Si薄膜の作成を行う。さらにはPoly-Siエッチングを行い評価する。近年の主な成果は「Proc.IEEE Intern.Conf.On Plasma Science」(1997年5月),「電気学会誌」(1997年117-A巻),「Plasma Sources Sci.Tecnol.」(1997年No.4)に論文として発表した。後藤は青色域の光素子への応用が期待されているZnSeをターゲットにする。これは実用化のための低抵抗p型伝導と低抵抗のオーム性電極のや熱異常の温度依存性からの相転移の有無を追究し,特性の変化を調ベる。また誘電体の単結晶を育成し,結晶学的知見から検討して工学的応用を試みる。近年の成果は「Proc.9th Intern.Meeting on Ferroelectricity」(1998年32巻),「総合工学」(1998年10巻),「Ferroelectrics」(2編印刷中)に論文として発表した。
プロジェクト名: 第四部門
プロジェクト実施機関 (1件):
  • 中部大学総合工学研究所
プロジェクト代表研究者 (1件):
  • 池澤 俊治郎
研究制度: 経常研究
研究予算: 1999年度: 3,000(千円)

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