研課題
J-GLOBAL ID:200904080395642661  研究課題コード:0550027846 更新日:2006年03月24日

交差格子スケールのセルフキャリブレーション

実施期間:2004 - 0
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
高精密加工機,超精密加工機の真直度,直角度などの2次元運動精度を測定する手法は 確立されていないのが現状です.交差格子スケール(KGM)は,干渉型の光学スケール を2次元方向に組み合わせた構造を持ち,送り系の任意の軌跡に対する2次元運動誤差を 測定できる強力な長所を持ちます.本研究では,高精密加工機の2次元運動精度の測定に 適用することを目的として,交差格子スケールの測定精度,及び測定対象の送り系の 運動精度を同時に自己較正(セルフキャリブレーション)する手法を提案します.
キーワード (1件):
交差格子スケール,KGM,セルフキャリブレーション,高精密工作機械,超精密工作機械,運動精度,真直度,直角度,測定誤差
研究制度: -

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