研課題
J-GLOBAL ID：200904082142172289 研究課題コード：9800041955
更新日：1998年02月05日
薄膜形成及び微細加工に関する研究
Study on thin film formation and fine processing
実施期間：
1995 - 1997
実施機関 (1件)：
大分県産業科学技術センター
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名寄せID(JGON) 201551000096507824 ですべてを検索
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実施研究者（所属機関） (3件)：
秋本 恭喜
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名寄せID(JGPN) 200901100337867807 ですべてを検索
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(大分県産業科技セ)
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小幡 睦憲
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名寄せID(JGPN) 200901100332149701 ですべてを検索
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(大分県産業科技セ)
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池田 哲
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名寄せID(JGPN) 201550000300066626 ですべてを検索
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(大分県産業科技セ)
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研究概要：
TiNi形状記憶合金薄膜マイクロアクチュエータを有するマイクロマニピュレータを製作する
キーワード (7件)：
金属薄膜
, チタン合金
, ニッケル合金
, 微細加工
, マニプレータ
, 形状記憶合金
, アクチュエータ
研究制度：
経常研究
研究予算：
1997年度: 0(千円)
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