研課題
J-GLOBAL ID:200904082142172289
研究課題コード:9800041955
更新日:1998年02月05日
薄膜形成及び微細加工に関する研究
Study on thin film formation and fine processing
実施期間:1995 - 1997
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (3件):
,
,
研究概要:
TiNi形状記憶合金薄膜マイクロアクチュエータを有するマイクロマニピュレータを製作する
キーワード (7件):
金属薄膜
, チタン合金
, ニッケル合金
, 微細加工
, マニプレータ
, 形状記憶合金
, アクチュエータ
研究制度:
経常研究
研究予算:
1997年度: 0(千円)
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