研課題
J-GLOBAL ID:200904082142172289  研究課題コード:9800041955 更新日:1998年02月05日

薄膜形成及び微細加工に関する研究

Study on thin film formation and fine processing
実施期間:1995 - 1997
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (3件):
研究概要:
TiNi形状記憶合金薄膜マイクロアクチュエータを有するマイクロマニピュレータを製作する
キーワード (7件):
金属薄膜 ,  チタン合金 ,  ニッケル合金 ,  微細加工 ,  マニプレータ ,  形状記憶合金 ,  アクチュエータ
研究制度: 経常研究
研究予算: 1997年度: 0(千円)

前のページに戻る