研課題
J-GLOBAL ID:200904082812908800  研究課題コード:0550027572 更新日:2004年10月29日

低気圧酸素・窒素プラズマの発光分光計測診断、その素過程に基づく分子過程の評価

Optical Emission Spectroscopic Measurement of Oxygen and Nitrogen Plasmas Low Prerssure, and their Molecular Processes
実施期間:1996 - 0
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
窒素プラズマの振動励起状態に関して、電子衝突、振動_振動エネルギー移行、振動_並進・回転エネルギー移行の3つのプロセスにより、窒素分子の振動非平衡性が決定されることを見いだした。又、希ガス混入時の酸素プラズマのガス温度変化について、特徴的な変化を見いだした。
キーワード (5件):
酸素プラズマ ,  窒素プラズマ ,  回転温度 ,  振動温度 ,  分子過程
プロジェクト実施機関 (1件):
  • (0192004000)
研究制度: 経常研究

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