研課題
J-GLOBAL ID:200904086022248112  研究課題コード:9800043409 更新日:2001年02月14日

強誘電体インテリジェント材料の研究開発

Study on development of ferroelectric intelligent material
実施期間:1997 - 1999
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (8件):
研究概要:
強誘電体薄膜の合成とその利用をめざして,PZT材料によるスパッタ用ターゲットの製造とこれを用いたスパッタ法による薄膜化技術を研究する。薄膜の電気物性を調べ,各種センサーへの利用を検討する
キーワード (6件):
強誘電体 ,  誘電体薄膜 ,  PZT【鉛化合物】 ,  スパッタリング ,  電気的性質 ,  薄膜成長
研究制度: 経常研究

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