研課題
J-GLOBAL ID:200904086328279593  研究課題コード:0350011480 更新日:2003年12月15日

軟質材料へのプラズマによるDLC膜の作製に関する研究

Study on the preparation of DLC layer on soft material by plasma
実施期間:2001 - 2002
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (6件):
研究概要:
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は,その硬度や良潤滑性,あるいは化学的安定性などの特性から近年,注目されている。従来,その硬度を活かすため,超硬合金などの比較的硬い材料を中心に,作製や評価が行われてきた。本研究では,その耐食性や耐薬品性に着目して,マグネシウム合金などの軟質材料に耐摩耗性や耐食性,あるいは耐酸化性を付与する目的で,DLC膜の製膜を試み,最適な作製条件の探索を行う。また,腐食環境中での摩擦試験などにより,耐食性や潤滑性の評価を行う。
キーワード (3件):
DLC ,  軟質材料 ,  プラズマ
研究制度: -

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