研課題
J-GLOBAL ID:200904086880663365  研究課題コード:9800005500 更新日:2003年12月15日

シリコンの液相成長と新機能素子への応用

Liquid phase growth of silicon and its application to new devices
実施期間:1988 - 2001
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (3件):
研究概要:
溶質と溶媒との比重差を利用した新しい液相成長法によって,従来技術では得られないデバイス用シリコン素材の実現を図る。これをもとに,超高感度フォトダイオード,高性能静電誘導トランジスタ,パワーデバイス等の開発を進める
キーワード (7件):
液相成長 ,  けい素 ,  フォトダイオード ,  機能素子 ,  トランジスタ ,  静電誘導 ,  電力
研究制度: 経常研究

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