研課題
J-GLOBAL ID:200904089740933949  研究課題コード:0150000409 更新日:2006年02月02日

1チップ型多機能運動センサの開発,試作

Development of one chip motion sensor with multi-sensing functions on augular velocity, accelation.
実施期間:1999 - 2000
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (3件):
研究概要:
水晶の高精度高アスペクト比エッチング加工技術を確立し,この技術により角速度,加速度の単一センサデバイスを実現し,超小型高精度1チップ型多機能運動センサを開発する。
キーワード (4件):
水晶板 ,  1チップ多機能センサ ,  角速度 ,  速度
プロジェクト名: 1チップ型多機能運動センサの開発とインテリジェントモジュールへの適用
プロジェクト実施機関 (1件):
  • 新エネルギー産業技術総合開発機構
プロジェクト代表研究者 (1件):
  • 白鳥 典彦 マイクロストーン(株)代表取締役
研究制度: 委託研究
研究所管省庁:
経済産業省

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