研課題
J-GLOBAL ID:200904090195706997  研究課題コード:9800033611 更新日:1996年12月13日

レーザ微細加工および加工用レーザ発振器技術に関する調査

Investigation on laser fine processing and laser oscillator technique for the processing
実施期間:1995 - 1995
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
最新のレーザ微細加工およびレーザ発振器技術について調査研究を行う
キーワード (6件):
レーザ加工 ,  レーザ発振 ,  微細加工 ,  固体素子 ,  発振器 ,  微細加工
研究制度: 経常研究
研究予算: 1995年度: 223(千円)

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