研課題
J-GLOBAL ID:200904092189677520  研究課題コード:9850000062 更新日:2003年05月14日

プラズマソースイオン注入による表面改質に関する研究

実施期間:1998 - 2000
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (2件):
研究概要:
プラズマソースイオン注入による表面改質についてビームラインイオン 注入との比較により問題点を明らかにし、不純物イオンに対する対策を 検討する。また3次元複雑形状表面への均一注入のための方策を検討する。 さらにプラズマソースイオン注入とコーティングとを同時に行う表面処理方法 及びコーティング後にプラズマソースイオン注入する方法について検討する。 またダイヤモンドと同程度に硬いと理論的に予測されているβ-C3N4をイオン 注入法により創製する。
キーワード (2件):
プラズマソースイオン注入 ,  表面改質
研究制度: 経常研究

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