研課題
J-GLOBAL ID:200904092598687537  研究課題コード:9911002945 更新日:2006年03月16日

新規産業創出技術開発費補助事業(ナノメータ制御光ディスクシステム開発評価)

(Development and evaluation of nanometer-controlled optical disc system)
実施期間:1999 - 2000
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (2件):
研究概要:
光ディスクの高密度化のために不可欠な超精密ピット計測技術の開発 を目的として,微小記録ピットの形状,精度,光学特性等を総合的に 評価することができる評価実験装置を試作し,高速・高精度化のため の装置技術を開発する。これにより,記録面密度100Gb/in2以上の光 ディスクの広期囲にわたるピットパターン像を,ナノメータの精度で 数時間内に計測できる超精密ピット計測評価技術の確立に資する。
キーワード (3件):
超精密ピット ,  ナノメータ ,  走査プローブ
研究制度: 指定研究
研究所管省庁:
経済産業省
研究所管機関:
国立研究開発法人産業技術総合研究所
研究予算: 2000年度: 10,215(千円)

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