研課題
J-GLOBAL ID:200904092934759614  研究課題コード:9800042860 更新日:2002年01月17日

シリコン中の不純物や欠陥の分子動力学シミュレーション

Molecular dynamics simulation of impurities and defects in silicon
実施期間:1997 - 0
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
大規模な分子動力学シミュレーションにより,シリコン中の不純物や欠陥の挙動を明らかにすることが目的である。特に高温における不純物や欠陥の拡散や反応について定量的に議論する
キーワード (6件):
分子動力学 ,  計算機シミュレーション ,  不純物分布 ,  不純物拡散 ,  格子欠陥 ,  けい素
研究制度: 経常研究
研究予算: 1997年度: 1,100(千円)

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