研課題
J-GLOBAL ID:200904093643348192  研究課題コード:9800016763 更新日:2001年12月11日

大気圧低温プラズマの開発と応用

Development and application of low temperature plasma under atmospheric pressure
実施期間:1990 - 0
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
常圧下で動作する低温プラズマ発生装置の開発と,そのエッチングやデポジション,殺菌等への応用
キーワード (4件):
プラズマ装置 ,  プラズマCVD ,  プラズマエッチング ,  プラズマ殺菌
研究制度: 経常研究
研究予算: 1997年度: 5,000(千円)

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