研課題
J-GLOBAL ID:200904093751842667  研究課題コード:9911004696 更新日:2003年12月15日

光機能材料の高品質薄膜化技術の開発

Development of technology for fabricating high quality thin films of optical functional materials
実施期間:1999 - 2000
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (6件):
研究概要:
光機能材料の高品質薄膜化技術の開発 高機能光デバイスを目指して、イオン・プラズマ、励起線を活用した高品質薄膜(LiNbO3,AlN等)の開発と評価を行い、光機能素子への応用を検討する。また、有機ポリシロキサン化合物について、電子ビーム用レジストへの応用を検討する。
キーワード (2件):
光機能材料 ,  薄膜化
研究制度: 経常研究

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