研課題
J-GLOBAL ID:200904093932922239  研究課題コード:9800016583 更新日:1997年10月20日

フォトルミネッセンス法の標準化

Standardization of photoluminescence method for donor-acceptor impurity determination in silicon crystal
実施期間:1990 - 1996
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
フォトルミネッセンスによるシリコン結晶中のドナー・アクセプタ不純物の定量分析法を確立するため,日本電子工業振興協会(JEIDA)並びに米国測定標準協会(ASTM)と共同で同手法の標準化を進めている。この活動をもとに,同手法は1989年度版ASTM年報に「Fl Proposal P213」として登録され,1992年度版ASTM年報からは「F1389-92」として正式に認定された。そして,ほう素,燐,アルミニウム,砒素不純物に対する標準試料を,国内及び国外の関連研究機関に配布した。さらに,本手法のJIS化の検討を行い,1996年1月にJIS H0615として制定された
キーワード (6件):
光ルミネセンス ,  けい素 ,  欠陥検査 ,  格子欠陥 ,  不純物分布 ,  標準化
研究制度: 経常研究
研究所管省庁:
文部科学省

前のページに戻る