研課題
J-GLOBAL ID:200904093941823537  研究課題コード:0450021434 更新日:2005年11月08日

超音波マイクロアレイセンサを用いた三次元計測システムの開発

Development of a three-dimensional instrumentation system using ultrasonic micro-array sensor
実施期間:2003 - 2003
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (5件):
研究概要:
超音波マイクロアレイセンサをマイクロマシニング技術を用いて作製する。設計、シミュレーション、試作、評価を繰り返し行い、共振周波数、アレイ配置位置、素子サイズ及び圧電体薄膜の膜厚の最適化を行う。圧電体薄膜作製には、PZTのゾルゲル溶液を用いる。また、超音波マイクロアレイセンサからの出力は微小なため、これを増幅するための多チャンネルの低ノイズ・高ゲインのアンプが必要である。そのため超音波周波数領域での低ノイズ・高ゲインのアンプを作製する。そして、3次元計測のための信号処理技術の開発を行う。
キーワード (10件):
超音波 ,  マイクロセンサ ,  アレイセンサ ,  三次元計測 ,  PZT ,  圧電体 ,  薄膜 ,  マイクロアレイ ,  MEMS ,  半導体微細加工
研究制度: -

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