研課題
J-GLOBAL ID:200904096413302044  研究課題コード:9800046575 更新日:1998年06月01日

判断回路内蔵型加速度センサーの製造技術

実施期間:1990 - 1995
研究概要:
CMOS用の生産設備を導入して回路部、センサ部の試作を行ってセンサの基本設計・構造を決定する。その後、回路部とセンサ部を一体化して製作を行い、判断回路を有する半導体加速度センサの製造技術を確立する。
研究制度: その他の研究制度
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構
研究予算: 1995年度: 0(千円)

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