MEMSに関する研究

Research on micro electro mechanical system

実施期間：2000 - 2003
実施機関 (1件)：
実施研究者（所属機関） (4件)： , , ,
研究概要：

MEMS関連製品開発に必要な,以下に示すMEMSに関する基礎技術の確立を図る。1.厚膜フォトレジスト及びPDMSを用いた微小機能部品の作製プロセス 2.エキシマレーザの応用(樹脂の表面改質・機能性薄膜の形成) 3.異方性エッチング,陽極接合等によるシリコンマイクロマシン作製。

キーワード (6件)：

MEMS , 薄膜 , エキシマレーザ , 厚膜フォトレジスト , 異方性エッチング , 陽極接合

プロジェクト実施機関 (1件)：

研究制度：経常研究

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