研課題
J-GLOBAL ID:200904098116104589  研究課題コード:0150000411 更新日:2006年02月02日

MEMSに関する研究

Research on micro electro mechanical system
実施期間:2000 - 2003
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (4件):
研究概要:
MEMS関連製品開発に必要な,以下に示すMEMSに関する基礎技術の確立を図る。1.厚膜フォトレジスト及びPDMSを用いた微小機能部品の作製プロセス 2.エキシマレーザの応用(樹脂の表面改質・機能性薄膜の形成) 3.異方性エッチング,陽極接合等によるシリコンマイクロマシン作製。
キーワード (6件):
MEMS ,  薄膜 ,  エキシマレーザ ,  厚膜フォトレジスト ,  異方性エッチング ,  陽極接合
プロジェクト実施機関 (1件):
  • (E257000000)
研究制度: 経常研究

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