研課題
J-GLOBAL ID:200904098988027358  研究課題コード:9800046592 更新日:1998年06月01日

プラズマを用いた化学的気化加工法(大口径非球面レンズ用)

実施期間:1992 - 1996
研究概要:
小型のプラズマを用いた化学的気化加工(プラズマCVM)装置を作製し、プラズマ生成技術、 形状創成技術、加工表面特性評価に係わる検討を行う。その結果をもとに大型プラズマCVM 装置を作製し、加工技術の開発・自動化等の検討を行い、大口径非球面レンズの加工技術を 確立する。
研究制度: その他の研究制度
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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