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J-GLOBAL ID：200906012815735115

モデルベースOPC

電子素子
同義語 (1件)：

モデルベース光近接効果補正 (model based optical proximity correction)
モデルベース光近接効果補正について
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関連語 (4件)：

データベース (database)
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モデル (model)
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リソグラフィー (lithography)
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近接効果 (proximity effect)
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上位語 (1件)：

補正 (correction (compensation))
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