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J-GLOBAL ID：200906023707481338

CD均一性

電子素子
同義語 (2件)：

クリティカルディメンジョン均一性 (critical dimension uniformity)
クリティカルディメンジョン均一性について
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最小加工寸法均一性 (critical dimension uniformity)
最小加工寸法均一性について
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関連語 (2件)：

回路パターン形成 (circuit pattern generation)
回路パターン形成について
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微細加工 (fine patterning)
微細加工について
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上位語 (2件)：

均一性 (homogeneity)
均一性について
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長さ (length)
長さについて
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