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J-GLOBAL ID：200906046430425060
化学増幅レジスト
主題カテゴリー：
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用語の主な分野です
高分子化学
同義語 (1件)：
化学増幅型レジスト
(chemically amplified-type resist)
化学増幅型レジスト について
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関連語 (2件)：
光酸発生剤
(photoacid generator)
光酸発生剤 について
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光塩基発生剤
(photobase generator)
光塩基発生剤 について
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上位語 (1件)：
フォトレジスト
(photoresist)
フォトレジスト について
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