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J-GLOBAL ID：200906046440713153

プロセスガス

物質の構造
同義語 (1件)：

処理用ガス (process gas)
処理用ガスについて
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関連語 (1件)：

半導体プロセス (semiconductor process)
半導体プロセスについて
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上位語 (1件)：

気体 (gas)
気体について
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