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J-GLOBAL ID：200906063083904842

プラズマスパッタリング

設計および工業的操作・装置・部品
同義語 (1件)：

プラズマスパッタ法 (plasma sputtering method)
プラズマスパッタ法について
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関連語 (2件)：

スパッタ蒸着 (sputtered deposition)
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プラズマ (plasma)
プラズマについて
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上位語 (1件)：

スパッタリング (sputtering)
スパッタリングについて
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