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J-GLOBAL ID:200906065676027620
EUVマスク
主題カテゴリー:
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用語の主な分野です
電子素子
同義語 (2件):
EUVハードマスク
(EUV hard mask)
EUVハードマスク について
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極端紫外線マスク
(extreme ultraviolet mask)
極端紫外線マスク について
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関連語 (3件):
リソグラフィー
(lithography)
リソグラフィー について
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回路パターン形成
(circuit pattern generation)
回路パターン形成 について
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極端紫外線
(extreme ultraviolet ray)
極端紫外線 について
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上位語 (1件):
フォトマスク
(photomask)
フォトマスク について
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