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J-GLOBAL ID：200906066541384348

反応性プラズマ蒸着

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同義語 (1件)：

RPD法 (RPD method)
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関連語 (1件)：

反応性 (reactivity)
反応性について
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上位語 (1件)：

プラズマCVD (plasma CVD)
プラズマCVD について
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