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J-GLOBAL ID:200906084489824669
スパッタポンプ
主題カテゴリー:
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用語の主な分野です
流体機械
学術用語集 (1件):
学術用語集
国内学会と文部科学省によって編纂された学術用語集の用語です
物理学編(増訂版) / スパッタイオンポンプ / sputter ion pump
同義語 (1件):
スパッタイオンポンプ
(sputter ion pump)
スパッタイオンポンプ について
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関連語 (2件):
スパッタリング
(sputtering)
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ゲッタ
(getter)
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上位語 (1件):
イオンポンプ【真空】
(ion pump (vacuum))
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