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J-GLOBAL ID：200906087183166438

EUVリソグラフィー

電子素子
同義語 (2件)：

遠紫外線リソグラフィー (EUV lithography)
遠紫外線リソグラフィーについて
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極端紫外光リソグラフィー (EUV lithography)
極端紫外光リソグラフィーについて
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関連語 (1件)：

真空紫外線 (vacuum ultraviolet radiation)
真空紫外線について
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上位語 (1件)：

フォトリソグラフィー (photolithography)
フォトリソグラフィーについて
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