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J-GLOBAL ID：200906092307704500

LPCVD

物質の構造
同義語 (7件)：

低圧化学気相成長法 (low pressure chemical vapor growth method)
低圧化学気相成長法について
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低圧化学気相成長 (LPCVD)
低圧化学気相成長について
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減圧CVD (low pressure chemical vapor deposition)
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上位語 (1件)：

化学蒸着 (chemical vapor deposition)
化学蒸着について
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