資料
J-GLOBAL ID：200909002529959427
JST資料番号 (フル)：K19890140C
JST資料番号：K19890140
Proceedings of the 1st International Symposium on Advanced Materials for ULSI, 1988
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K19890140
シリーズ・タイトル (1件)：
- Proceedings. Electrochemical Society 88-19
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
編集団体名 (3件)：
Electrochemical Society. Electronics Div.
, Electrochemical Society. Dielectrics and Insulation Div.
, Electrochemical Society. High Temperature Materials Div.
出版団体名：
Electrochemical Society
出版地：Pennington, N.J.
会議 (1件)：
- International Symposium on Advanced Materials for ULSI, 1st, Atlanta, Ga., 19880515 - 19880519
JST所蔵 (0件)
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