資料
J-GLOBAL ID：200909007912080317
JST資料番号 (フル)：K19980290I
JST資料番号：K19980290
Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices
JST資料番号：
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K19980290
ISBN (1件)：
0-7923-5007-3
シリーズ・タイトル (1件)：
- NATO Science Series. Partnership Sub-Series 3. High Technology 47
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：オランダ(NLD)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
編集団体名 (1件)：
North Atlantic Treaty Organization
出版団体名：
Kluwer Academic Publ.
出版地：Dordrecht
会議 (1件)：
- NATO Advanced Research Workshop on Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices, St. Petersburg, 19970804 - 19970808
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