資料
J-GLOBAL ID：200909011544025731
JST資料番号 (フル)：K19860621T
JST資料番号：K19860621
Plasma Synthesis and Etching of Electronic Materials
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K19860621
ISBN (1件)：
0-931837-03-0
シリーズ・タイトル (1件)：
- Materials Research Society Symposia Proceedings 38
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
出版団体名：
Materials Research Society
出版地：Pittsburgh, Pa.
会議 (1件)：
- Symposium on Plasma Synthesis and Etching of Electronic Materials, Boston, Mass., 19841127 - 19841130
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