資料
J-GLOBAL ID：200909012632666107
JST資料番号 (フル)：K19930660A
JST資料番号：K19930660
Surface Chemical Cleaning and Passivation for Semiconductor Processing
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K19930660
ISBN (1件)：
1-55899-213-8
シリーズ・タイトル (1件)：
- Materials Research Society Symposia Proceedings 315
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
出版団体名：
Materials Research Society
出版地：Pittsburgh, Pa.
会議 (2件)：
- Symposium on Surface Chemical Cleaning and Passivation for Semiconductor Processing, 2nd, San Francisco, Calif., 19930413 - 19930415
- Materials Research Society Spring Meeting Symposium Y
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