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J-GLOBAL ID:200909013165737506   JST資料番号 (フル):N19960078B   JST資料番号:N19960078

電子線励起による選択的化学反応を用いた原子オーダの材料プロセスの開発 平成6年度 No.03402024

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N19960078
資料内容種別:一般記事, 冊子体, その他
刊行頻度: その他
発行国:日本(JPN)
本文使用言語 (2件): 日本語(JA) ,  英語(EN)
出版団体名: 文部省
出版地:東京
JST所蔵 (0件)

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