資料
J-GLOBAL ID：200909023835208963
JST資料番号 (フル)：K19970477A
JST資料番号：K19970477
Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications in 1996
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K19970477
ISBN (1件)：
1-55899-385-1
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
編集団体名 (1件)：
California Univ. Berkeley. Univ. Extension
出版団体名：
Materials Research Society
出版地：Pittsburgh, Pa.
会議 (2件)：
- Conference on Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications, Boston, Mass., 19961001 - 19961003
- Conference on Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications. Parallel Session, Tokyo, 19961023 - 19961024
JST所蔵 (0件)
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