資料
J-GLOBAL ID：200909024718605400
JST資料番号 (フル)：K19990467Z
JST資料番号：K19990467
Proceedings of the 2nd International Symposium on Chemical Mechanical Planarization in Integrated Circuit Device Manufacturing
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K19990467
ISBN (1件)：
1-56677-201-X
シリーズ・タイトル (1件)：
- Proceedings. Electrochemical Society 98-7
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
編集団体名 (1件)：
Electrochemical Society. Electronics and Dielectric Science and Technology Div.
出版団体名：
Electrochemical Society
出版地：Pennington, N.J.
会議 (1件)：
- International Symposium on Chemical Mechanical Planarization in Integrated Circuit Device Manufacturing, 2nd, San Diego, Calif., 19980505 - 19980507
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