資料
J-GLOBAL ID：200909030431632512
JST資料番号 (フル)：N19930214K
JST資料番号：N19930214
公設試験研究機関による技術開発研究について 微小位置決めを目的とした圧電アクチュエータに関する研究 平成3年度成果普及講習会用テキスト 平成2年度技術開発研究費補助事業
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N19930214
資料内容種別：一般記事, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：日本(JPN)
本文使用言語 (1件)：
日本語(JA)
出版団体名：
東京都立工業技術センター
出版地：東京
会議主催団体名 (1件)：
JST所蔵 (0件)：
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