資料
J-GLOBAL ID：200909032208067229
JST資料番号 (フル)：K19900408J
JST資料番号：K19900408
Materials and Process Characterization for VLSI, 1988 (ICMPC '88)
JST資料番号：
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K19900408
ISBN (1件)：
9971-50-688-2
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：シンガポール(SGP)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
編集団体名 (2件)：
Chinese Inst. of Electronics
, Fudan Univ. China
出版団体名：
World Scientific Publ.
出版地：Singapore
会議 (1件)：
- International Conference on Materials and Process Characterization for VLSI, Shanghai, 19881024 - 19881029
JST所蔵 (0件)：
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