資料
J-GLOBAL ID：200909032605111595
JST資料番号 (フル)：K19940184C
JST資料番号：K19940184
Crystalline Defects and Contamination: Their Impact and Control in Device Manufacturing
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K19940184
ISBN (1件)：
1-56677-059-9
シリーズ・タイトル (1件)：
- Proceedings. Electrochemical Society 93-15
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
出版団体名：
Electrochemical Society
出版地：Pennington, N.J.
会議 (1件)：
- Symposium on Crystalline Defects and Contamination: Their Impact and Control in Device Manufacturing, Grenoble, 19930917 -
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