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J-GLOBAL ID：200909038467638984   JST資料番号 (フル)：K19860619C   JST資料番号：K19860619

Impurity Diffusion and Gettering in Silicon

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K19860619
ISBN (1件)： 0-931837-01-4
シリーズ・タイトル (1件)：
  • Materials Research Society Symposia Proceedings 36
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)： 英語(EN)
出版団体名： Materials Research Society
出版地：Pittsburgh, Pa.
会議 (1件)：
  • Symposium on Impurity Diffusion and Gettering Semiconductors, Boston, Mass., 19841127 - 19841130
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