資料
J-GLOBAL ID：200909045842229201
JST資料番号 (フル)：K19810642J
JST資料番号：K19810642
Semiconductor Silicon 1981
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K19810642
シリーズ・タイトル (1件)：
- Proceedings. Electrochemical Society 81-5
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
編集団体名 (2件)：
Electrochemical Society. Electronics Div.
, Electrochemical Society. Dielectrics and Insulation Div.
出版団体名：
Electrochemical Society
出版地：Pennington, N.J.
会議 (1件)：
- International Symposium on Silicon Materials Science and Technology, 4th, Minneapolis, Minn., 19810511 - 19810515
JST所蔵 (0件)
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