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J-GLOBAL ID:200909046710702680   JST資料番号 (フル):K19940867W   JST資料番号:K19940867

Proceedings of the 3rd Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films, 1994

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K19940867
ISBN (1件): 1-56677-048-3
シリーズ・タイトル (1件):
  • Proceedings. Electrochemical Society 94-16
資料内容種別:会議録, 冊子体, その他
刊行頻度: その他
発行国:アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件): 英語(EN)
出版団体名: Electrochemical Society
出版地:Princeton, N.J.
会議 (1件):
  • Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films, 3rd, San Francisco, Calif., 19940523 - 19940527
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