資料
J-GLOBAL ID：200909054527973562
JST資料番号 (フル)：K19930424I
JST資料番号：K19930424
Chemical Surface Preparation, Passivation and Cleaning for Semiconductor Growth and Processing
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K19930424
ISBN (1件)：
1-55899-154-9
シリーズ・タイトル (1件)：
- Materials Research Society Symposia Proceedings 259
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
出版団体名：
Materials Research Society
出版地：Pittsburgh, Pa.
会議 (1件)：
- Symposium on Chemical Surface Preparation, Passivation and Cleaning for Semiconductor Growth and Processing, San Francisco, Calif., 19920427 - 19920429
JST所蔵 (0件)：
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